這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
mxrG)n6Y {u7##Vrgt8 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
x@P{l&:> 
P偏振光照明的場矢量 s( ROgCO
Er uP 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
nbofYI$rd& Vu0 KtG9 參數(shù)掃描
/I&wj^ B%<e FFV\ Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：
>L((2wfiN @-.? B 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系
mkvvNm3 ~4.r^)\
