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摘要 ?^voA.Bv< \ %<M[r= 分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 vRe{B7}p;
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 _mSefPl #Hrzk!&9 光柵規(guī)格 m!7%5=Fc C*mVM!D);! uw
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