正如我們在上周的簡報中所看到的,各種形狀的
光柵結(jié)構(gòu)往往是基于光導的顯示
系統(tǒng)的重要組成部分,用于增強和混合現(xiàn)實應(yīng)用。光柵的復(fù)雜性和它們在這些設(shè)置中通常扮演的多重角色要求對它們的行為進行徹底的分析,而小的特征尺寸意味著需要一個嚴格的方法來準確地進行上述分析?焖俚
物理光學建模和設(shè)計軟件
VirtualLab Fusion為您提供了多種工具,使這項任務(wù)變得更容易和更方便。
]9]cef=h# JiL%1y9| 這一次,我們要著重展示光柵級次分析器,它使用嚴格的傅里葉模態(tài)法/嚴格耦合波分析(FMM/RCWA)進行光柵表征,并說明它在光導輸入耦合的傾斜光柵案例中的應(yīng)用。
6XPf0Gl 用于光導耦合的傾斜光柵的分析
Wh4`Iv\. J8[N!qDCj D_fgxl 從文獻中選擇了不同的傾斜光柵幾何形狀,其斜角、填充系數(shù)和調(diào)制深度各不相同,用傅里葉模態(tài)法(FMM)計算
衍射效率。
EAYx+zI 光柵級次分析儀
Y#Pl)sRr u!TVvc Jwzkd"D 在VirtualLab Fusion中,光柵級次分析器可用于方便的光柵衍射分析,其結(jié)果以各種方式呈現(xiàn)。