[求助]鍍膜后環(huán)測(cè)雙85實(shí)驗(yàn)，外觀有水漬點(diǎn)無法去除，什么原因？ [復(fù)制鏈接]

鍍膜設(shè)備，光馳OTFC，工藝條件：Ta2O5+SIO2,   溫度：320℃，射頻源 }Bv1fbD4U  

兩個(gè)可能。1，離子源的中和電流不夠，導(dǎo)致膜內(nèi)有電荷積聚，調(diào)大中和電流試試。 1<~n2}   
2，片子洗凈的問題，鍍前用離子源多轟一下，看看有沒有改善。 M#Z^8(  
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另外中和器偶爾的打火也有可能造成電荷積聚，但這個(gè)不會(huì)每爐都會(huì)實(shí)現(xiàn)。 ;Mq'+4$  

學(xué)習(xí)中，謝謝樓上各位