[技術(shù)]泰伯效應(yīng) [復(fù)制鏈接]

在衍射光學(xué)中，當(dāng)周期性結(jié)構(gòu)被準(zhǔn)直光照射時，可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結(jié)構(gòu)的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應(yīng)（用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔），它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應(yīng)用。 +D*Z_Yh6  
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利用快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術(shù)，可以充分研究這種效應(yīng)及其應(yīng)用。請看下面的例子，在這些例子中，我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應(yīng)的基本原理，并更仔細(xì)地研究特定的光刻應(yīng)用，以產(chǎn)生納米結(jié)構(gòu)。 .O<obq~;C  
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在VirtualLab Fusion中對帶有一層圓錐體的相位掩模板進(jìn)行了嚴(yán)格的建模。檢測到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現(xiàn)，而孔圖案在次圖像平面中再現(xiàn)。