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摘要 0[);v/@Ho WTSY:kvcCY 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 AX<TkS@wjb ]^/:Xsk$
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W446;)?5 光柵詳細(xì)說(shuō)明 I6 {}S6
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 _I3j 7f,V Euk#C ;uBg •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 bX=ht^e [ •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問(wèn)該參數(shù)。 +, p X./8
PK?& 光柵階次分析器設(shè)置 bx!Sy0PUJ 'O
\YL(j_e •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 s80:.B •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 ofj7$se •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 q~_Nv5 r%O B`iQN7fd
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