一．概述
O0v}4 3J [ 隨著光刻分辨率的不斷提高，
光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。
?l{nk5,?-Y 0[(8 與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。
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全折射型投影物鏡是指只含有
透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時(shí)含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。
PC8Q"O ^^$s%{ep" 二．SYNOPSYS自由曲面設(shè)計(jì)功能
cuI TY^6 受限于EUV（極紫外光）使用的波長為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒有光學(xué)材料可以透過，因此為了使用更短的波長，此類光刻物鏡只能采用完全反射式進(jìn)行設(shè)計(jì)。
JH9J5%sp C< tl/NC SYNOPSYS的自由曲面設(shè)計(jì)功能可以非常方便快捷地設(shè)計(jì)自由曲面反射式
光學(xué)系統(tǒng)。
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只需要輸入每個(gè)反射鏡的初始位置、形狀，以及系統(tǒng)的物方
參數(shù)和像方要求，此功能會(huì)自動(dòng)生成對(duì)應(yīng)的
優(yōu)化文件和初始結(jié)構(gòu)。
&p@O _0nF ZLejcYS 宏文件和
鏡頭文件可以評(píng)論區(qū)留言領(lǐng)取
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