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    [討論]離子源充氧與充氬有何分別? [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)wangxingyu
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-04-15
    離子源充氧與充氬有何分別?
     
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    離線(xiàn)j123456789
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-04-15
    離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子,它們具有極其強(qiáng)的活性,作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助,不僅能提高膜層的密度,還能改善其吸收!但,其會(huì)降低離子源的壽命!!充氬僅能提高膜層的密度,同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對(duì)長(zhǎng)!
    1條評(píng)分 ,光幣+1
    flyinlove79 光幣 +1 熱心助人,鼓勵(lì)! 2013-02-02
    離線(xiàn)flyinlove79
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-16
    樓上的說(shuō)的好
    離線(xiàn)jiayuch
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-04-22
    如果鍍得是氟化鎂  就用氬氣嗎
    離線(xiàn)yufe16
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2008-06-17
    氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎?
    離線(xiàn)liwenjuan
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2008-06-18
    這個(gè)問(wèn)題也是我一直思考的,好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點(diǎn),壽命問(wèn)題真的是要考慮的,廠(chǎng)家可能也是拿著這個(gè)結(jié)果來(lái)對(duì)我們說(shuō),而不會(huì)提到這個(gè)壽命的情況。 Eoug/we  
    我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會(huì)有損傷。 (yduU  
    \Clz#k8l1  
    不同的材料肯定是不同,這個(gè)除了廠(chǎng)家會(huì)給一些參考,也要自己摸索了
    離線(xiàn)syw1984
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2008-06-28
    好像透過(guò)曲線(xiàn)有區(qū)別的
    離線(xiàn)yufe16
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2008-06-29
    使用離子源的話(huà),對(duì)真空室溫度有什么要求嗎 》
    離線(xiàn)yufe16
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2008-06-29
    使用離子源對(duì)真空室溫度有什么要求嗎?
    離線(xiàn)拉比熊
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-01-13
    使用離子源對(duì)溫度沒(méi)有影響