使用X射線超高精度觀測微芯片“內(nèi)心”

瑞士保羅謝勒研究所、洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院、蘇黎世聯(lián)邦理工大學(xué)和美國南加州大學(xué)科學(xué)家合作，首次使用X射線，以4納米超高精度觀測了先進計算機微芯片的“內(nèi)心”，創(chuàng)造了新的世界紀錄。研究團隊制作的高分辨率三維圖像，有望推動信息技術(shù)和生命科學(xué)等領(lǐng)域取得顯著進展。相關(guān)論文發(fā)表于新一期《自然》雜志。

目前，一塊微芯片上能夠集成上百億甚至更多晶體管，其制造過程復(fù)雜而精細，對由此產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)進行表征和映射面臨極大困難。雖然掃描電子顯微鏡的分辨率可達幾納米，非常適合對微型晶體管進行成像，但它們通常只能生成物體表面的二維圖像。若需獲取三維圖像，則必須逐層檢查芯片，而這會破壞芯片結(jié)構(gòu)。

X射線能更深入地穿透材料，利用X射線斷層掃描技術(shù)可在不破壞芯片的情況下，生成三維圖像。然而，現(xiàn)有的X射線技術(shù)難以對微芯片這類微型結(jié)構(gòu)進行精確成像。

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為克服這一難題，研究團隊使用疊層相干衍射成像技術(shù)作為解決方案。

這項技術(shù)使X射線光束不是聚焦于樣品的某個納米點，而是讓樣品在納米尺度移動，使照射在其上的X射線光束的移動路徑形成一個精密網(wǎng)格，網(wǎng)格上的每個點都會記錄樣品的衍射圖案。由于單個網(wǎng)格點間距離小于光束直徑，成像區(qū)域存在重疊，因此可提供足夠多的信息，算法據(jù)此能以高分辨率重建樣本圖像。

2017年，研究團隊成功以15納米的分辨率對計算機芯片進行了空間成像，創(chuàng)下當時的紀錄。此后，他們一直致力于提升這一技術(shù)的精度。在最新研究中，通過采用更短的曝光時間和更先進的算法，他們以4納米的分辨率打破了此前的紀錄。

研究團隊指出，這項技術(shù)不限于洞察微芯片的“內(nèi)心”，還能為生命科學(xué)等領(lǐng)域的樣品內(nèi)部精確成像，從而推動相關(guān)領(lǐng)域的進一步發(fā)展。