摘要 %DIZgPd\ j" ~gEGfK 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
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K'u66%wAL 1. 本案例主要說明：
fXfO9{E 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
)a0%62 - 基于介質(zhì)的定義類型
")i>-1_H - 基于表面的定義類型
U% T{ ~f 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
Xm I63W* 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
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2r 2. 光柵工具箱初始化 x-Ug(/!^ 初始化
A2{s ?L, - 開始→
n"dYN3dE 光柵→
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CY[U 一般光柵光路圖(3D光柵)
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SQ0t28N3h 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
pj/w9j G6 EI!e0 V1! 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 OK
