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摘要 {ICW"Rlcs s%c>Ge 復雜光學光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 eG05} MR{JMo=r 1. 本案例主要說明: .vJlTg 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: A;\1`_i0 - 基于介質(zhì)的定義類型 dW`!/OaQD - 基于表面的定義類型 n^P~]1i 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 |1[3RnGS 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 2V6kCy@V 4`M7
3k0 2. 光柵工具箱初始化 G&LOjd2 初始化 9KgGK cy% - 開始→ ?0%3~E`l: 光柵→ !i{9wI 一般光柵光路圖(3D光柵) vdt
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