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摘要 [t@Mn |O9O )o 白光干涉測量法是一種非接觸式技術,用于精確測量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設置和氙燈光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量?紤]到光源的光譜特性,即有限的相干長度,結果顯示僅當兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。 9"A`sGZ A.F738Zp{Z ~W+kiTsD? 1. 建模任務 /%TI??PGu
&NoS=(s, 2. 干涉條紋的變化 >kp?vK;'B (ECnMti+ ;n=.>s*XL' 3. VirtualLab Fusion概覽 {~sDYRX %
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