光柵是
光學(xué)工程師使用的最基本的工具。為了設(shè)計和分析這類組件，快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion為用戶提供了許多有用的工具。其中包括
參數(shù)優(yōu)化，以輕松優(yōu)化
系統(tǒng)，以及參數(shù)運行，它允許您執(zhí)行參數(shù)掃描，以研究這些參數(shù)對設(shè)置的總體效果的影響。此外，還可以用于詳細(xì)研究具體制造過程中的偏差引入的影響。不同的求解器也可以供您使用來
模擬場與光柵的相互作用，具有不同的假設(shè)和相應(yīng)的近似水平。這些方法的范圍從嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM）到適用于具有淺浮雕大型
結(jié)構(gòu)的薄元近似法（TEA）。
4$vUD1(' 薄元素近似法（TEA）對比傅里葉模態(tài)法（FMM）進行光柵建模 l]&A5tz3
m[y~-n FLQke"6i0: 研究了兩種常用但
原理不同的分析光柵
衍射效率的算法： TEA和FMM（也稱為RCWA）。比較了不同周期的兩種類型的光柵（正弦和閃耀）結(jié)果。
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