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    [技術(shù)]薄元近似(TEA)與傅里葉模態(tài)法(FMM)的光柵建模 [復(fù)制鏈接]

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    摘要 xeU|5-d'  
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    f?sm~PwC-  
                                                        
    ~Xxmj!nOf  
    薄元近似(TEA)是傅里葉光學(xué)中廣泛應(yīng)用的計(jì)算光柵衍射效率的方法。然而,我們也知道,對(duì)于較小的光柵周期,也就是當(dāng)其更接近于光的波長時(shí),近似變得不準(zhǔn)確。在本例中,選擇了兩種類型的傳輸光柵來展示這種效果:正弦光柵和閃耀光柵。我們使用TEA和FMM(也稱為RWCA,這是嚴(yán)格的)來分析這種具有不同周期的光柵,通過比較結(jié)果,我們研究了兩種方法的表現(xiàn) 8J(j}</>a  
                                                                 MMFwT(l<1  
    建模任務(wù)                                                         v<!S_7h  
    LOx+?4|y  
    ~U&NY7.@  
    eTS}-  
    光柵元件   MJ)lZ!KZ  
    aDNB~CwZZ  
                                                        
    sg $db62>  
    通用光柵組件(General Grating Component)允許用戶在模擬中選擇不同的求解算法。用戶可以在嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之間進(jìn)行選擇。關(guān)于解算器的更多信息可以在這里找到: E?XaU~cpc  
    • FMM/RCWA %f1%9YH  
    • Diffractive Lens Component z5fE<=<X_W  
                                                                 f)/Z7*Z  
    正弦光柵-效率vs高度(只用TEA)       elCYH9W^  
    nTqU~'d'  
                                                    
    s7 "xDDV  
    yXR1 NYg  
    正弦光柵-傳輸相位形態(tài)     MuY:(zC%  
    'K,\  
                                                    
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    yV{B,T`W  
    正弦光柵-傳輸相位形態(tài)                                                         @?,x3\N-  
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    pHeG{<^  
    正弦光柵-衍射效率 E'QAsU8pP  
    FOTe, F.8  
                                                            
    KYFKH+d>m  
    kuEXNi1l  
    正弦光柵-效率vs. 周期                                                       0j$\k|xFXZ  
    2.q Zs8&  
      
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    }je<^]a  
    正弦光柵—選定周期的相位形態(tài)   /UCBoQ$/]  
                                      
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    noZbsI4  
                                                                 O=0p}{3l  
    閃耀光柵-效率vs.高度(只用TEA) b fxE}>  
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    閃耀光柵-傳輸相位形態(tài)                                                         ng1E'c]0@  
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    閃耀光柵-衍射效率                                                         M6-uTmN:d  
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    Ana[>wSZO@  
                                                                 ?V`-z#y7  
    閃耀光柵-效率vs.周期                                                         i4YskhT  
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    閃耀光柵-選定周期相位形態(tài)                                                         P2'c{],3V  
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