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摘要 xeU|5-d' jn V=giBu f?sm~PwC- ~Xxmj!nOf 薄元近似(TEA)是傅里葉光學(xué)中廣泛應(yīng)用的計(jì)算光柵衍射效率的方法。然而,我們也知道,對(duì)于較小的光柵周期,也就是當(dāng)其更接近于光的波長時(shí),近似變得不準(zhǔn)確。在本例中,選擇了兩種類型的傳輸光柵來展示這種效果:正弦光柵和閃耀光柵。我們使用TEA和FMM(也稱為RWCA,這是嚴(yán)格的)來分析這種具有不同周期的光柵,通過比較結(jié)果,我們研究了兩種方法的表現(xiàn) 8J(j}</>a MMFwT(l<1 建模任務(wù) v<!S_7h LOx+?4|y ~U&NY7.@ eTS}- 光柵元件 MJ)lZ!KZ aDNB~CwZZ sg
$db62> 通用光柵組件(General Grating Component)允許用戶在模擬中選擇不同的求解算法。用戶可以在嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之間進(jìn)行選擇。關(guān)于解算器的更多信息可以在這里找到: E?XaU~cpc • FMM/RCWA %f1%9YH • Diffractive Lens Component z5fE<=<X_W f)/Z7*Z 正弦光柵-效率vs高度(只用TEA) elCYH9W^ nTqU~'d' s7 "xDDV yXR1NYg 正弦光柵-傳輸相位形態(tài) MuY:(zC% 'K,\ q`<:CfCt yV{B,T`W 正弦光柵-傳輸相位形態(tài) @?,x3\N- /7AHd ; > G\0Z[<v, pHeG{<^ 正弦光柵-衍射效率 E'QAsU8pP FOTe,F.8 KYFKH+d>m kuEXNi1l 正弦光柵-效率vs. 周期 0j$\k|xFXZ 2.q Zs8& 1b5Z^a<u }je<^]a 正弦光柵—選定周期的相位形態(tài) /UCBoQ$/] B"^j>SF noZbsI4 O=0p}{3l 閃耀光柵-效率vs.高度(只用TEA) bfxE}> Y 6a`{' PUdv1__C 閃耀光柵-傳輸相位形態(tài) ng1E'c]0@ 1j2U,_- iM .yen_vp 0akJv^^D 閃耀光柵-衍射效率 M6-uTmN:d ]}`t~#Irz Ana[>wSZO@ ?V`-z#y7 閃耀光柵-效率vs.周期 i4YskhT ra~=i|s uQdeKp4( W6?=9].gc 閃耀光柵-選定周期相位形態(tài) P2'c{],3V e N`+
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