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    [求助]如何降低薄膜吸收？ [復(fù)制鏈接]

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    離線guji2015
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 10-16
    關(guān)鍵詞： 膜層薄膜
    做的一個(gè)氧化鉿單層的材料實(shí)驗(yàn)，開了離子源輔助，鍍出來(lái)發(fā)現(xiàn)膜層吸收較大。請(qǐng)教一下各位大佬，為降低吸收，工藝該從那些方面調(diào)整？ Lq-33#n/  
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 10-16
    1.溫度是不是300度，離子源充氧過(guò)大也會(huì)吸收
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    離子源清洗，不開源鍍，基板加溫300℃-350℃，恒溫一小時(shí)鍍膜，材料充氧10sccm,此參數(shù)僅供參考
    離線度魔銀
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 10-16
    補(bǔ)充一下，速率控制在2.0A/左右
    在線xiezhizhi
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 4小時(shí)前
    增加氧氣 就可以了 _(C^[