芯物科技“超透鏡及其制備方法”專利公布

國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海芯物科技有限公司申請一項名為“超透鏡及其制備方法”的專利，公開號 CN 118746867 A，申請日期為2024年8月。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種超透鏡及其制備方法，超透鏡的制備方法，包括：S2、提供襯底；S4、在襯底的第一表面形成多個第一溝槽；S6、在第一溝槽內(nèi)填充超透鏡材料，以形成多個第一超透鏡結(jié)構(gòu)；S8、在襯底的第一表面依次形成第一犧牲層和第二犧牲層；S10、形成貫穿第二犧牲層的多個第二溝槽；S12、第二溝槽內(nèi)填充超透鏡材料，以形成多個第二超透鏡結(jié)構(gòu)；S14、在第二犧牲層表面形成支撐層。本發(fā)明的技術(shù)方案，避免采用晶圓鍵合、硅襯底去除等工藝從而降低了晶圓損耗且有利于簡化工藝進(jìn)而降低超透鏡的成本；同時，降低了超透鏡的厚度，有利于超透鏡的小型化。

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