摘要 tlu -zUsi 直接設計非近軸
衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當大，元件的特征尺寸與工作
波長在相同的數(shù)量級上。因此，設計過程超出了近軸建模方法。因此，在這個例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設計
結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應用于嚴格的性能評估。
Q/r9r*>z '>_'gR0O 設計任務 }'a}s0h Zz= +?L s2riayM9/
使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設計，通過嚴格分析，進一步
優(yōu)化零階均勻性和影響
"n:z( "Q* y^=\w?d 光柵級次分析模塊設置 , *8}TIS(s QM`A74j0]\ 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器，VirtualLabFusion提供了一個指導工具，允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設計的
參數(shù)。
> y" V % j%Y`2Ra 1. 通過應用設計帶中的結(jié)構(gòu)設計，所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。
g5lf- }? 2. 對于此轉(zhuǎn)換，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。
I/rq@27o 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預設在光路中。
3D[IZ^%VtM 4. 要在不同的
模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu)，需要從組件內(nèi)部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。
f {AbCi 衍射分束器表面 Wcl@ H @ 為了進一步評估，使用了通用光柵
光學設置，其中加載之前保存的堆棧。光柵光學裝置提供了獨特的工具、組件和分析儀，以進一步研究給定周期結(jié)構(gòu)的特性和性能。
WE 'afxgV su>GeJiPW 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) p E lF,Y U-#wFc2N 一般光柵組件提供了薄元近似(TEA)和傅里葉模態(tài)方法(FMM)作為解決模型給定的光柵。
?kX$Y{M} 薄元近似通常產(chǎn)生更快的結(jié)果，當結(jié)構(gòu)小于波長的5倍,可能有精度問題，。
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