ZEMAX光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)戰(zhàn)	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

發(fā)帖回復(fù)

79閱讀
0回復(fù)

[技術(shù)]TRCX：摻雜過(guò)程分析 [復(fù)制鏈接]

上一主題下一主題

在線infotek

科學(xué)家

發(fā)帖: 5414

光幣: 21250

光券: 0

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 12-11

在 LTPS 制造過(guò)程中，使用自對(duì)準(zhǔn)掩模通過(guò)離子注入來(lái)金屬化有源層。當(dāng)通過(guò) TRCX 計(jì)算電容時(shí)，應(yīng)用與實(shí)際工藝相同的原理。工程師可以根據(jù)真實(shí)的 3D 結(jié)構(gòu)提取準(zhǔn)確的電容，并分析有源層離子注入前后的電位分布，如下圖所示。


	關(guān)閉您還沒(méi)有登錄，快捷通道只有在登錄后才能使用。立即登錄還沒(méi)有帳號(hào)？趕緊注冊(cè)一個(gè)

帖子

[技術(shù)]TRCX：摻雜過(guò)程分析 [復(fù)制鏈接]