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摘要 Q1P, =T@
,%"\\#3S 光柵結(jié)構(gòu)廣泛應用于各種光學應用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等�？焖傥锢砉鈱W軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析提供了通用和方便的工具。為此，復雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。 TmRrub ^bZ <9}
 D2hAlV)i( (cPeee%Q 任務說明 8=ukS_?Vy ==PQ-Ia  6 qz!M F^/~@^{P 簡要介紹衍射效率與偏振理論 E.5*Jr=J 某個衍射級次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個特定的級次中。它是由復數(shù)值瑞利系數(shù)計算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個衍射級次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進行嚴格分析的結(jié)果。 R#[Qoy J 如果在TE/TM坐標系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計算衍射效率： GU;TK'Yy?  y<I
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