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摘要 zdLVxL>87 M>?aa6@0 m\*&2Na b?Cmc 干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 [^?13xMb :b<-[8d& 建模任務 <CNE>@-f ,_.@l+BM. oF%^QT"R u;+%Qh 由于組件傾斜引起的干涉條紋 !sg%6H?} ur/Oc24i1n K,x$c % \3t,|%v 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 ?vZWUWa 7XUhJN3n V~'k1P4
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