暗視野顯微鏡 在普通光學(xué)顯微鏡臺(tái)下配一個(gè)暗視野聚光器（圖4）,來自下面光源的光線被拋物面聚光器反射，形成了橫過顯微鏡視野而不進(jìn)入物鏡的強(qiáng)烈光束。因此視野是暗的，視野中直徑大于 0.3m的微粒將光線散射，其大小和形態(tài)可清楚看到。甚至可看到普通明視野顯微鏡中看不見的幾個(gè)毫微米的微粒。因此在某些細(xì)菌、細(xì)胞等活體檢查中常常使用。 uO {'eT~
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實(shí)體顯微鏡 由雙筒目鏡和物鏡構(gòu)成。放大率 7～80倍。利用側(cè)上方或下方顯微鏡燈照明。在目鏡內(nèi)形成一個(gè)直立的放大實(shí)像，可以觀察未經(jīng)加工的物體的立體形狀、顏色及表面微細(xì)結(jié)構(gòu),并能進(jìn)行顯微解剖操作,也可以觀察生物機(jī)體的組織切片。 TNj WZ
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熒光顯微鏡 在短波長(zhǎng)光波(紫外光或紫藍(lán)色光,波長(zhǎng)250～400nm）照射下，某些物質(zhì)吸收光能，受到激發(fā)并釋放出一種能量降級(jí)的較長(zhǎng)的光波（藍(lán)、綠、黃或紅光，波長(zhǎng)400～800nm），這種光稱熒光。某種物質(zhì)在短光波照射下即可發(fā)生熒光，如組織內(nèi)大部分脂質(zhì)和蛋白質(zhì)經(jīng)照射均可發(fā)出淡藍(lán)色熒光，稱為自發(fā)性熒光。但大部分物質(zhì)需要用熒光染料（如吖啶橙、異硫氰酸熒光素等）染色后，在短光波照射下才能發(fā)出熒光。熒光顯微鏡的光源為高壓汞燈，發(fā)出的紫外光源經(jīng)過激發(fā)濾光片(此濾光片可通過對(duì)標(biāo)本中熒光物質(zhì)合宜的激發(fā)光)過濾后射向普勒姆氏分色鏡分色鏡將激發(fā)光向下反射,通過物鏡投射向經(jīng)熒光染料染色的標(biāo)本。染料被激發(fā)并釋放出熒光,通過物鏡,穿過分色鏡和目鏡即可進(jìn)行觀察。目鏡下方安置有屏障濾片(只允許特定波長(zhǎng)的熒光通過)以保護(hù)眼眼及降低視野暗度。熒光顯微鏡的特點(diǎn)是靈敏度高，在暗視野中低濃度熒光染色即可顯示出標(biāo)本內(nèi)樣品的存在，其對(duì)比約為可見光顯微鏡的 100倍。30年代熒光染色即已用于細(xì)菌、霉菌等微生物及細(xì)胞、纖維等的形態(tài)觀察和研究。如用抗酸菌熒光染色法可幫助在痰中找到結(jié)核桿菌。40年代創(chuàng)造了熒光染料標(biāo)記蛋白質(zhì)的技術(shù)，這種技術(shù)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于免疫熒光抗體染色的常規(guī)技術(shù)中，可檢查和定位病毒、細(xì)菌、霉菌、原蟲、寄生蟲及動(dòng)物和人的組織抗原與抗體，可用以探討病因及發(fā)病機(jī)理，如腎小球疾病的分類及診斷，乳頭瘤病毒與子宮頸癌的關(guān)系等。在醫(yī)學(xué)實(shí)驗(yàn)研究及疾病診斷方面的用途日益廣泛。 `*ml/% \
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偏光顯微鏡 從光源發(fā)出的光線通過空氣和普通玻璃時(shí)，在與光線垂直的平面內(nèi)的各個(gè)方向以同一振幅進(jìn)行振動(dòng)并迅速向前方傳遞，這是光的波動(dòng)性原理�？諝馀c普通玻璃為各向同性體，又稱單折射體。如果該光源的光通過一種各向異性體（又稱雙折射體）時(shí)，會(huì)將一束光線分為各只有一個(gè)振動(dòng)平面的，而且振動(dòng)方向互相垂直的兩束光線。這兩束光線的振動(dòng)方向、速度、折光率和波長(zhǎng)都不相同。這樣只有一個(gè)振動(dòng)平面的光線稱偏振光。偏光顯微鏡即利用這一現(xiàn)象而設(shè)計(jì)。偏光顯微鏡內(nèi)，在物鏡與目鏡間插入一個(gè)檢偏鏡片，光源與聚光器間鑲有起偏鏡片，圓形載物臺(tái)可以作360°旋轉(zhuǎn)。起偏與檢偏鏡片處于正交檢偏位時(shí)，視野完全變黑。將被檢物體放在顯微鏡臺(tái)上。若被檢物為單折射體，則旋轉(zhuǎn)鏡臺(tái)，視野始終黑暗。若旋轉(zhuǎn)鏡臺(tái)一周，視野內(nèi)被檢物四明四暗，則說明被檢物是雙折射體。許多結(jié)晶物質(zhì)（如痛風(fēng)結(jié)節(jié)中的尿酸鹽結(jié)晶、尿結(jié)石、膽結(jié)石等），人體組織內(nèi)的彈力纖維、膠原纖維、染色體和淀粉樣原纖維等都是雙折射體，可借偏振光顯微鏡術(shù)檢驗(yàn)，進(jìn)行定性和定量分析。 8j^3_lD
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位相顯微鏡 又稱相差顯微鏡或相襯顯微鏡。普通光學(xué)顯微鏡之所以看不見未染色的組織、細(xì)胞和細(xì)菌、病毒等活機(jī)體的圖像，是因?yàn)橥ㄟ^樣品的光線變化差別（反差）很小。標(biāo)本染色后改變了振幅（亮度）和波長(zhǎng)（顏色），影響了反差而獲得圖像。但是染色會(huì)引起樣品變形，也可使有生命的機(jī)體死亡。要觀察不染色的新鮮組織、細(xì)胞或其他微小活體必須使用位相顯微鏡。位相顯微鏡的原理是兩個(gè)光波因位相差而互相干涉，出現(xiàn)光波強(qiáng)弱和反差的改變而成可見影像。點(diǎn)光源發(fā)出的光線可以表現(xiàn)為正弦波圖形(圖6a[位相顯微鏡])。兩個(gè)波峰間的距離為波長(zhǎng),波的振幅表示光的亮度(振幅大、亮度高)。設(shè)想同一光源發(fā)出的兩條光波,分別同時(shí)通過空氣及某種透明介質(zhì)。在通過一定厚度的某種透明介質(zhì)時(shí)，光波的速度就會(huì)降低，但是光的亮度未變。光波在通過該透明介質(zhì)后比一直在空氣中前進(jìn)的另一條光波遲滯了波長(zhǎng)，因而兩條光波出現(xiàn)了位相的變化（位相差）。但人眼不能分辨這兩條平行光線的位相差。如果這兩條光波射到光屏的同一點(diǎn)上，而且一條光波比另一條光波遲滯了半個(gè)波長(zhǎng)，即兩條光波因位相相反而互相干涉抵消則光線消失，或者相對(duì)振幅相互影響而光線減弱。如果一條光波雖然遲滯了一個(gè)波長(zhǎng),但兩條光波位相相同,則因波的疊加而光線增強(qiáng)。 ';J><z{>
位相顯微鏡是利用樣品中質(zhì)點(diǎn)折射率的不同或質(zhì)點(diǎn)厚度的不等，產(chǎn)生光線的相位差，使新鮮標(biāo)本不必染色就可以看到，而且能夠觀察到活細(xì)胞內(nèi)線粒體及染色體等精細(xì)結(jié)構(gòu)，還可以應(yīng)用于霉菌、細(xì)菌、病毒等更微小活體的研究，進(jìn)行標(biāo)本形態(tài)、數(shù)量、活動(dòng)及分裂、繁殖等生物學(xué)行為觀察，并可進(jìn)行量度與比較。 pN-c9n4#j
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倒置式顯微鏡 普通顯微鏡鏡的物鏡頭方向向下接近標(biāo)本。倒置式顯微鏡的物鏡鏡頭則處于垂直向上的位置，因此目鏡和鏡筒的縱軸與物鏡的縱軸呈45度角。載物臺(tái)面積較大，在物鏡上方，載物臺(tái)上方有一個(gè)長(zhǎng)焦距聚光器和照明光源。物鏡和聚光器可裝配位相顯微鏡的附件。放大率16～80倍。組織培養(yǎng)瓶和培養(yǎng)皿可以直接放在載物臺(tái)上，進(jìn)行不染色新鮮標(biāo)本及活體、細(xì)胞的形態(tài)、數(shù)量和動(dòng)態(tài)觀察�？蛇M(jìn)行多孔微量生物化學(xué)及免疫反應(yīng)平板的結(jié)果觀察。倒置式顯微鏡可換用普通亮視野光學(xué)鏡頭；可裝配偏振光、微分干涉差、熒光附件進(jìn)行觀察。 [CAV"u)0
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微分干涉差顯微鏡(DIC) 又稱干擾或干涉顯微鏡。能看到和測(cè)定微小的位相變化，與位相顯微鏡相似，使無色透明的標(biāo)本具有明暗和顏色的變化，從而增強(qiáng)反差。在普通光學(xué)顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)上安裝偏光和干涉部件，以及360°旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)它又利用偏振光的干涉原理。如圖7[微分干涉差顯微鏡光學(xué)原理]所示,在光源上方安置有起偏鏡片和光束分解棱鏡。從起偏鏡片出來的直線偏振光通過光束分解棱鏡后，分成互相垂直振動(dòng)的兩條直線偏振光。兩條光線經(jīng)聚光器折射后射向樣品。因樣品內(nèi)各個(gè)質(zhì)點(diǎn)的折射射率不同，部分光波的位相改變及因干涉而發(fā)生橫向偏移。兩條光線通過物鏡后經(jīng)第二組光束分解棱鏡相合并，由檢偏鏡發(fā)生干涉。終末像的每一個(gè)點(diǎn)是由物體上同一點(diǎn)的兩個(gè)互相重疊的不同圖像構(gòu)成的一種混合像，從而使肉眼得以辨識(shí)。 ){M)0,:
微分干涉差顯微鏡同樣可以觀察到在普通亮視野中看不見的無色透明物體,可以觀察細(xì)胞、細(xì)菌等活體,而且影像呈立體感，較位相顯微鏡的影像更細(xì)致、更逼真�？捎盟鼘�(duì)活細(xì)胞的各個(gè)部位作更精細(xì)的研究。如果用白光照明，不同位相表現(xiàn)為各種顏色，轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)，顏色會(huì)發(fā)生變化。單色光照明產(chǎn)生明暗反差，各種成分呈現(xiàn)不同的對(duì)比度。微分干涉差顯微鏡又可以作為一種高度精密的超微量光學(xué)天平來使用，用以估測(cè)的干物體的精確質(zhì)量可以小到 1×克。當(dāng)細(xì)胞中所含固體物質(zhì)的濃度增加百分之一時(shí)，其折射率相應(yīng)增加0.0018。細(xì)胞各相成分的折射率可以根據(jù)它與相關(guān)區(qū)域（懸浮液區(qū)）間位種的不同而估計(jì)，從而可進(jìn)一步算出一個(gè)細(xì)胞中某些成分的干燥重量。 5n#@,V.O/
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攝影顯微鏡 現(xiàn)代高質(zhì)量顯微鏡均可安裝顯微照相的各種附件，可以及時(shí)完整地保留科學(xué)資料。用于照相的顯微鏡要求光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)件結(jié)構(gòu)精密，鏡體堅(jiān)固穩(wěn)定。它裝配三目鏡筒，其中兩個(gè)45°角觀察用目鏡鏡筒和一個(gè)中央垂直鏡筒安裝 135照相機(jī)、曝光測(cè)量附件、照相目鏡及取景鏡頭，可以進(jìn)行取景和調(diào)焦。聚光器能調(diào)節(jié)視場(chǎng)中心并配有孔徑光闌使視場(chǎng)照明均勻。鏡座有可調(diào)節(jié)視場(chǎng)光闌，有電壓表和電壓顯示燈。有可變電阻調(diào)節(jié)照明亮度。照明光源為6～12伏40～100瓦鹵素?zé)襞荨?0年代的自動(dòng)曝光顯微照相裝置具有自動(dòng)卷片，自動(dòng)測(cè)光、自動(dòng)控制曝光，測(cè)量和調(diào)整色溫以及倒易律失效的補(bǔ)償?shù)雀黜?xiàng)功能，均用電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，可以進(jìn)行黑白感光片、彩色負(fù)片和彩色幻燈片的投照。 `U6bI`l
中央垂直鏡筒又可以安裝電視攝像裝置或16mm電影攝影機(jī)及控制裝置，可對(duì)活體標(biāo)本進(jìn)行定時(shí)定格或連續(xù)的攝影記錄。 g- O}e4
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萬能研究用攝影顯微鏡系統(tǒng) 集普通亮視野、暗視野、偏振光、熒光、位相、微分干涉差、顯微攝影等各項(xiàng)功能于一個(gè)系統(tǒng)中。還有電子計(jì)算機(jī)控制的低倍攝影自動(dòng)聚焦、自動(dòng)轉(zhuǎn)換物鏡、聚光器自動(dòng)匹配、自動(dòng)調(diào)整光源亮度等功能。機(jī)身安裝兩個(gè)135照相機(jī),一個(gè)4×5英寸大版照相機(jī)。可另外安裝電視攝像和16mm電影攝影裝置，同樣具有自動(dòng)卷片、自動(dòng)測(cè)光、自動(dòng)控制曝光、測(cè)量和調(diào)節(jié)色溫、倒易體失效補(bǔ)償?shù)榷囗?xiàng)功能。 =AVr< kP
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電子顯微鏡 光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)由于所用光波的波長(zhǎng)而受到限制。小于光波波長(zhǎng)的物體因衍射而不能成像。最高級(jí)的光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)的限度約 200nm(2000)。為了突破這一限度，可采用電子射線來代替光波。電子微粒以高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，其行為類似光波的傳播過程。運(yùn)動(dòng)電子的波長(zhǎng)隨其速度而定，在增壓達(dá)50萬伏時(shí)，其波長(zhǎng)為0.001nm(0.01),即電子射線的波長(zhǎng)約為可見光的十萬分之一,其分辨本領(lǐng)的極限約為4，其放大倍數(shù)比最高級(jí)的光學(xué)顯微鏡要高很多級(jí)。以電子射線為電子光源的顯微鏡稱為電子顯微鏡。現(xiàn)代醫(yī)學(xué)和生物學(xué)使用的電鏡分辨率為5～10,即放大率為10～20萬倍。 JZom#A.
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由于標(biāo)本厚薄不同，超薄切片機(jī)切出的很薄的標(biāo)本，可用透射式電子顯微鏡觀察。不能切得很薄的標(biāo)本可用掃描式電鏡進(jìn)行觀察。 Rct=v DU
透射式電子顯微鏡(TEM) 是最常用的電子顯微鏡，由電子槍、電磁透鏡系統(tǒng)、熒光屏（或照相機(jī)）、鏡筒、鏡座、變壓器、穩(wěn)壓裝置、高壓電纜、真空泵系統(tǒng)、操縱臺(tái)等部分組成電子槍相當(dāng)于光學(xué)顯微鏡中的光源,供應(yīng)和加速?gòu)年帢O熱鎢絲發(fā)射出來的電子束。電鏡所用的電壓一般在20～30萬伏特，才足以使電子槍里的電子以高速飛出。電子通過聚光透鏡，達(dá)到標(biāo)本上，因?yàn)闃?biāo)本很薄，高速電子可以透過，并且由于標(biāo)本各部分的厚度或密度不同，通過的電子就有疏密之分。電壓需要嚴(yán)格穩(wěn)定才能使成像穩(wěn)定，很小的電壓改變就會(huì)引起嚴(yán)重干擾。像的亮度可以通過電子槍來控制。 ?]Wg{\NC6
電磁透鏡組相當(dāng)于光鏡中的聚光器、物鏡及目鏡系統(tǒng)。電子束通過各個(gè)電磁透鏡的圓形磁場(chǎng)的中心時(shí)可被會(huì)聚而產(chǎn)生像。電鏡的透鏡系統(tǒng)由4組電磁透鏡組成,包括聚光透鏡、物鏡、中間透鏡和投射透鏡(目鏡)。可改變聚光透鏡的電流使電子束對(duì)標(biāo)本聚焦并提供“照明”。物鏡靠近標(biāo)本的焦點(diǎn)上。通過物鏡、中間鏡和投射鏡的三級(jí)放大，能在一定的距離處得到高倍的放大像，最終形成的像投射到熒光屏上。在熒光屏部位可換用黑白膠片以制取相片底板。改變電磁線圈中的電流量從而使電磁透鏡調(diào)焦，并產(chǎn)生不同的放大率 bKb}VP
為了盡量減少電鏡中電子與空氣分子相碰撞而產(chǎn)生散射的機(jī)會(huì)，鏡筒中的真空度要求很高，因此密封的鏡筒與真空泵相連。由于標(biāo)本需置于真空的鏡筒內(nèi)，因此不能檢查活材料。 .KX LWH
光鏡主要利用可見光波作為光源，樣品染色后改變了光的波長(zhǎng)(顏色)和振幅（亮度），影響了反差從而得到圖像。電鏡使用電子射線。電子束的穿透力不強(qiáng)，所以供電鏡檢查的標(biāo)本必須切到薄至50～ 100nm厚度的切片。電鏡切片的制作步驟與光鏡切片類似，也是由固定、脫水、包埋、切片和染色等程序組成：首先從欲觀察的標(biāo)本上取材,體積約1。通過戊二醛和四氧化鋨雙固定后，逐級(jí)酒精（或丙酮）脫水,環(huán)氧樹脂包埋,超薄切片機(jī)切片。在電鏡中像的形成是組織片各個(gè)部分對(duì)電子束的電子產(chǎn)生不同散射的結(jié)果，標(biāo)本中致密的地方(細(xì)節(jié))散射強(qiáng)�？墒褂酶鞣N重金屬鹽染色以增加反差，常用的是醋酸鈾和枸櫞酸鉛復(fù)染。由于電子束穿不透玻璃，染好的薄膜切片放在小銅網(wǎng)格上作電鏡觀察。 IuOY.c2.u
冷凍蝕刻技術(shù)是50年代發(fā)明、后來經(jīng)過改進(jìn)的一種新的電鏡標(biāo)本加工技術(shù)。其主要原理是把液氮內(nèi)快速超低溫(-200℃)冷凍的生物標(biāo)本放在真空冷凍裝置里斷裂，從而將不同部位的細(xì)胞器內(nèi)部結(jié)構(gòu)暴露出來，表現(xiàn)出高低不等的三維結(jié)構(gòu)。在新形成的折斷面上噴鍍一層鉑金碳膜（復(fù)型）。將已鍍膜標(biāo)本在強(qiáng)酸或強(qiáng)堿性腐蝕溶液里消化，復(fù)型膜即漂浮、經(jīng)打撈、清洗，放在小銅網(wǎng)上進(jìn)行電鏡觀察和照相。冷凍蝕刻技術(shù)在細(xì)胞生物膜結(jié)構(gòu)（如細(xì)胞膜、線粒體、內(nèi)質(zhì)網(wǎng)等）的研究上發(fā)揮了重大作用。 T0F!0O `
掃描式電子顯微鏡(SEM) 標(biāo)本較厚的表面要產(chǎn)生一個(gè)電子光學(xué)圖像就要采用電子掃描法（圖9 [掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)示意圖]）。掃描電鏡的電子槍和電磁透鏡的結(jié)構(gòu)原理類似透射電鏡。電子槍產(chǎn)生的大量電子通過三組電磁透鏡的連續(xù)會(huì)聚形成一條很細(xì)的電子射線（電子探針）。這條電子射線在電鏡筒內(nèi)兩對(duì)偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，順序在標(biāo)本表面掃描。由于來自鋸齒波發(fā)生器的電流同時(shí)供應(yīng)電鏡鏡筒內(nèi)的和顯示管的兩組偏轉(zhuǎn)線圈，使得顯示器的電子射線在熒光屏上產(chǎn)生同步掃描。從標(biāo)本上射出的電子經(jīng)探測(cè)器收集，被視頻放大器放大并控制顯示管亮度。因此在熒光屏上掃描的亮度被標(biāo)本表面相應(yīng)點(diǎn)所產(chǎn)生的電子數(shù)量所控制，因而在熒光屏上顯示出標(biāo)本的高倍放大像。通過控制兩套偏轉(zhuǎn)線圈的電流便可控制放大率的倍數(shù)。另外安裝有一個(gè)同樣的照相用同步掃描顯示管。 p J #<e
掃描電鏡標(biāo)本制作中，既要脫水又要基本保持其自然狀態(tài)，因此使用標(biāo)本的臨界冷凍干燥技術(shù)：將組織表面清洗干凈，經(jīng)戊二醛和四氧化鋨雙重固定，逐級(jí)丙酮脫水。由于乙酸戊酯與液化Co置換十分容易,因此首先用梯度乙酸戊酯置換丙酮。然后將標(biāo)本放入密閉耐壓室內(nèi)，導(dǎo)入液態(tài)Co，使之浸沒標(biāo)本。很快Co將標(biāo)本內(nèi)乙酸戊酯完全置換出來，將后者排出耐壓室。同時(shí)耐壓室內(nèi)的液態(tài)Co與迅速蒸發(fā)的氣態(tài)Co分子之間的互變達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡。使溫度逐漸上升,液態(tài)Co蒸發(fā)加快而密度相應(yīng)降低。達(dá)到Co的臨界溫度31.1℃時(shí),氣、液二相密度相同，二相的差異完全消失，即達(dá)到相的平衡，此時(shí)表面張力為零。使溫度繼續(xù)保持在稍高于臨界溫度的條件下，緩慢排出Co氣體,當(dāng)Co排盡時(shí),標(biāo)本即已干燥。取出干燥好的標(biāo)本，經(jīng)真空噴鍍一層碳合金，或放入離子鍍膜機(jī)內(nèi)鍍鉑和金，以增加標(biāo)本的導(dǎo)電能力，加強(qiáng)反差和增強(qiáng)標(biāo)本的穩(wěn)定性。然后即可進(jìn)行掃描電鏡觀察。 "<^]d~a_
掃描電鏡具有分辨率高、景深長(zhǎng)、視野廣、顯示三維立體結(jié)構(gòu)、便于觀察和標(biāo)本制備簡(jiǎn)單等許多優(yōu)點(diǎn)，在生物學(xué)及醫(yī)學(xué)上應(yīng)用愈來愈多，用以觀察和研究生物標(biāo)本的表現(xiàn)形態(tài)和內(nèi)部立體結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的分辨本領(lǐng)已達(dá)到70的水平，已可以直接觀察脫氧核糖核酸(DNA)的分子結(jié)構(gòu)。 8^U+P%
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掃描隧道顯微鏡的英文縮寫是STM。這是20世紀(jì)80年代初期出現(xiàn)的一種新型表面分析工具。其基本原理是基于量子力學(xué)的隧道效應(yīng)和三維掃描。它是用一個(gè)極細(xì)的尖針，針尖頭部為單個(gè)原子去接近樣品表面，當(dāng)針尖和樣品表面靠得很近，即小于1納米時(shí)，針尖頭部的原子和樣品表面原子的電子云發(fā)生重疊。此時(shí)若在針尖和樣品之間加上一個(gè)偏壓，電子便會(huì)穿過針尖和樣品之間的勢(shì)壘而形成納安級(jí)10A的隧道電流。通過控制針尖與樣品表面間距的恒定，并使針尖沿表面進(jìn)行精確的三維移動(dòng)，就可將表面形貌和表面電子態(tài)等有關(guān)表面信息記錄下來。掃描隧道顯微鏡具有很高的空間分辨率，橫向可達(dá)0．1納米，縱向可優(yōu)于0．01納米。它主要用來描繪表面三維的原子結(jié)構(gòu)圖，在納米尺度上研究物質(zhì)的特性，利用掃描隧道顯微鏡還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)表面的納米加工，如直接操縱原子或分子，完成對(duì)表面的刻蝕、修飾以及直接書寫等。目前掃描隧道顯微鏡取得了一系列新進(jìn)展，出現(xiàn)了原子力顯微鏡AFM、彈道電子發(fā)射顯微鏡BEEM、光子掃描隧道顯微鏡PSTM，以及掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡SNOM等。
