現(xiàn)以砷化鎵(GaAs)激光器為例,介紹注入式同質(zhì)結(jié)激光器的工作原理。
eE1w<] Eg 1.注入式同質(zhì)結(jié)激光器的振蕩原理。由于半導(dǎo)體材料本身具有特殊晶體結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu),故形成激光的機理有其特殊性。
n}a# b%e (1)半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體材料多是晶體結(jié)構(gòu)。當(dāng)大量原子規(guī)則而緊密地結(jié)合成晶體時,晶體中那些價電子都處在晶體能帶上。價電子所處的能帶稱價帶(對應(yīng)較低能量)。與價帶最近的高能帶稱導(dǎo)帶,能帶之間的空域稱為禁帶。當(dāng)加外電場時,價帶中電子躍遷到導(dǎo)帶中去,在導(dǎo)帶中可以自由運動而起導(dǎo)電作用。同時,價帶中失掉一個電子,則相當(dāng)于出現(xiàn)一個帶正電的空穴,這種空穴在外電場的作用下,也能起導(dǎo)電作用。因此,價帶中空穴和導(dǎo)帶中的電子都有導(dǎo)電作用,統(tǒng)稱為載流子。
t@b';Cuv (2)摻雜半導(dǎo)體與p-n結(jié)。沒有雜質(zhì)的純凈半導(dǎo)體,稱為本征半導(dǎo)體。如果在本征半導(dǎo)體中摻入雜質(zhì)原子,則在導(dǎo)帶之下和價帶之上形成了雜質(zhì)能級,分別稱為施主能級和受主能級。
@UD6qA 有施主能級的半導(dǎo)體稱為n型半導(dǎo)體;有受主能級的半導(dǎo)體稱這p型半導(dǎo)體。在常溫下,熱能使n型半導(dǎo)體的大部分施主原子被離化,其中電子被激發(fā)到導(dǎo)帶上,成為自由電子。而p型半導(dǎo)體的大部分受主原子則俘獲了價帶中的電子,在價帶中形成空穴。因此,n型半導(dǎo)體主要由導(dǎo)帶中的電子導(dǎo)電;p型半導(dǎo)體主要由價帶中的空穴導(dǎo)電。
N@*v'MEko% 半導(dǎo)體激光器中所用半導(dǎo)體材料,摻雜濃度較大,n型雜質(zhì)原子數(shù)一般為(2-5)×1018cm-1;p型為(1-3)×1019cm-1。
R\6#J0&Y- 在一塊半導(dǎo)體材料中,從p型區(qū)到n型區(qū)突然變化的區(qū)域稱為p-n結(jié)。其交界面處將形成一空間電荷區(qū)。n型半導(dǎo)體帶中電子要向p區(qū)擴散,而p型半導(dǎo)體價帶中的空穴要向n區(qū)擴散。這樣一來,結(jié)構(gòu)附近的n型區(qū)由于是施主而帶正電,結(jié)區(qū)附近的p型區(qū)由于是受主而帶負(fù)電。在交界面處形成一個由n區(qū)指向p區(qū)的電場,稱為自建電場。此電場會阻止電子和空穴的繼續(xù)擴散。
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