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    [求助]需要一種測量器件翹曲變形的方法 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-11-22
    哪位能提供一點思路嗎？變形量可能很小，微米級的。 QH4k!^  
    要在200度左右的溫度看器件的變形情況。用光學(xué)方法是否能實現(xiàn)？據(jù)說有用干涉測量儀測的，但是不知道人家怎么做的。。。
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-11-24
    不太容易，雖說干涉儀可以測翹曲，可你的器件的溫度太高，空氣擾動太厲害，很難得到穩(wěn)定條紋。