三坐標(biāo)測量機(jī)種類繁多、形式各異、性能多樣,所測對象和放置環(huán)境條件也不盡相同,但大體上皆由若干具有一定功能的部分組合而成。
Y0Tad?iC Qd~z<U l 作為一種測量儀器,三坐標(biāo)測量機(jī)主要是比較被測量與標(biāo)準(zhǔn)量,并將比較結(jié)果用數(shù)值表示出來。三坐標(biāo)測量機(jī)需要3個方向的標(biāo)準(zhǔn)器(標(biāo)尺),利用導(dǎo)軌實現(xiàn)沿相應(yīng)方向的運(yùn)動,還需要三維測頭對被測量進(jìn)行探測和瞄準(zhǔn)。此外,測量機(jī)還具有數(shù)據(jù)處理和自動檢測等功能,需由相應(yīng)的電氣控制系統(tǒng)與計算機(jī)軟硬件實現(xiàn)。
*;)O'| b*(K;`9)B 三坐標(biāo)測量機(jī)可分為主機(jī)、測頭、電氣系統(tǒng)三大部分。
(uDAdE5 (3K3)0fy 主機(jī)結(jié)構(gòu)分為:
N,Z*d Z.&/,UU:4 1、框架,是指測量機(jī)的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)架子。它是工作臺、立柱、橋框、殼體等機(jī)械結(jié)構(gòu)的集合體;
W+GC3W o">~ObR 2、標(biāo)尺系統(tǒng),是測量機(jī)的重要組成部分,是決定儀器精度的一個重要環(huán)節(jié)。三坐標(biāo)測量機(jī)所用的標(biāo)尺有線紋尺、精密絲桿、感應(yīng)同步器、光柵尺、磁尺及光波波長等。該系統(tǒng)還應(yīng)包括數(shù)顯電氣裝置。
7~FHn'xt ilde<!? 3、導(dǎo)軌,是測量機(jī)實現(xiàn)三維運(yùn)動的重要部件。測量機(jī)多采用滑動導(dǎo)軌、滾動軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成,有的導(dǎo)軌體和工作臺合二為一。氣浮導(dǎo)軌還應(yīng)包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置。
OPzudO &TY74w* 4、驅(qū)動裝置,是測量機(jī)的重要運(yùn)動機(jī)構(gòu),可實現(xiàn)機(jī)動和程序控制伺服運(yùn)動的功能。在測量機(jī)上一般采用的驅(qū)動裝置有絲桿絲母、滾動輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動輪等傳動,并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動。直線馬達(dá)驅(qū)動正在增多。
n807?FORB 1)^\R(l 5、平衡部件,主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。它的功能是平衡Z軸的重量,以使Z軸上下運(yùn)動時無偏得干擾,使檢測時Z向測力穩(wěn)定。如更換Z軸上所裝的測頭時,應(yīng)重新調(diào)節(jié)平衡力的大小,以達(dá)到新的平衡。Z軸平衡裝置有重錘、發(fā)條或彈簧、氣缸活塞桿等類型。
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