[求助]請教：離子輔助蒸發(fā)帶來的問題。 [復(fù)制鏈接]

我們清洗真空室都把護(hù)板.工轉(zhuǎn)盤.修正板基本上把里面的東西都拿下了用細(xì)砂打過.再用乙醚擦拭

哈哈，我在西安呢，有時間過來玩啊

西安也是藏龍窩虎之地呀！有機(jī)會一定去拜訪，倒是版主可別說不認(rèn)識我呀

直接把護(hù)皮取下來，在水里用砂紙打磨，別的地方就直接用砂紙打磨，再用布和酒精擦拭

是離子源臟   清洗離子源   不用離子源沒問題 應(yīng)該不是真空室臟

不清楚你的偏壓用的是多少？適當(dāng)?shù)脑黾悠珘嚎赡軙�有所改善，不妨試一�?

其實(shí)像離子輔助蒸發(fā)基板有很多點(diǎn),我們俗稱微塵,除了和潔凈度、真空度、返油、烘烤溫度以外,我想還有可能與你機(jī)器設(shè)置有關(guān)系了,你鍍膜機(jī)是什么牌子的,在鍍膜時候需要沖氧氣\還是氬氣,還有你的膜料,保存是否完好?最好膜料放在干燥柜里面!

作鍍膜需要的是細(xì)心 , 清機(jī)很多小地方都不能遺漏 .

不懂但下來，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

這個應(yīng)該就是工藝問題了，以前記得在哪里也見到過這個問題，后來不知道他們怎么解決的，潔凈度、真空度、返油、烘烤溫度等都有可能。