實驗2
金屬薄膜之制作
<S1?? 一、實驗?zāi)康?span style="display:none"> 7\A4vUI3
學(xué)習(xí)利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。
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QO]_U? 1．了解真空技術(shù)的基本知識；
Y[ Q @WdE9 2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法；
9>by~4An? 3．了解真空
鍍膜的基本知識；
5@P%iBA4(3 4．學(xué)習(xí)掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．
kE/`n],1U AF^T ~?t 二、實驗原理
0 "EoC 鍍膜技術(shù)有很多種，但大體上可分為利用液體及氣體成膜兩種方法，前者大多涉及化學(xué)變化，后者皆有些是利用化學(xué)作用，有些則是屬于物理作用。如圖(1)所述：
|3}5:k 圖(1) 真空鍍膜方法
<B6[i*& 本教材的重點在于物理氣相沈積的熱蒸發(fā)蒸鍍法及電漿濺鍍法，原理及制程將會詳述內(nèi)文。同學(xué)們?nèi)魧ζ渌兡し椒ㄓ信d趣請自行查閱書籍、網(wǎng)絡(luò)等數(shù)據(jù)。
01udlW. "8
