[求助]我的鍍膜機(jī)抽不動(dòng)了，請(qǐng)達(dá)人！ [復(fù)制鏈接]

我使用的是成真ZDF-III-LED真空計(jì)已經(jīng)確認(rèn)正常 *tqD:hiF  
我的意思不是3.0E-0開不了高閥，而是在這個(gè)真空度開高閥真空室的真空就抽不動(dòng)。 :h(HKMSk1  
只有在9.0E-1左右開高閥才能繼續(xù)抽真空。

檢查一下前級(jí)閥，看是不是前級(jí)閥內(nèi)漏氣，還有就是DP與前級(jí)閥前有一個(gè)環(huán)，看有沒有壞啊，我也遇到過，但是就是這個(gè)問題

DP??DP與前級(jí)閥前有一個(gè)環(huán)??可以明確一點(diǎn)嗎?謝謝了

我聽說過一個(gè)做真空系統(tǒng)的人講過： 2;Z 0pPR&  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏氣，如果能抽到高真空，而時(shí)間太長，則表示不漏，而是真空泵系統(tǒng)問題。 chICc</l&  
具體檢測方法，可以分別對(duì)各種泵的極限真空進(jìn)行測試就大概知道。通常機(jī)械泵的抽速是從大氣到1000PA，前級(jí)泵是從1000PA到1PA擴(kuò)散泵是從1PA到10-2PA,就可開始烘烤鍍膜后續(xù)工序。 }TTghE!  
你要摸摸擴(kuò)散泵的溫度是不是過高。雖然說冷卻水溫指示正常，如果冷卻水管與擴(kuò)散泵脫開的話，擴(kuò)散泵一樣冷卻不好的。 ] 2 `%i5  
如果不是擴(kuò)散泵的問題，從你說的現(xiàn)象來看。感覺機(jī)械泵與前級(jí)泵出現(xiàn)問題的可能性比較大。機(jī)械泵要抽一個(gè)小時(shí)才到你說的那個(gè)數(shù)值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜時(shí)，是用光馳設(shè)備。從抽到鍍?cè)俚较麓纬�，間隔時(shí)間總共也才一個(gè)小時(shí)哦。 *O[/KR%  
南光機(jī)真的太慢了。

感覺是你的擴(kuò)散泵的水冷系統(tǒng)出問題了

回復(fù)24樓 Fv]6an.  
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現(xiàn)在的機(jī)器不加烘烤 _#V&rY&@  
20分鐘就到3*10-2了 K9zr]7;th  
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我們的設(shè)備每年開4000鍋 c!E{fS