[求助]我的鍍膜機(jī)抽不動了，請達(dá)人！ [復(fù)制鏈接]

我使用的是成真ZDF-III-LED真空計已經(jīng)確認(rèn)正常 +8Q5[lh2]j  
我的意思不是3.0E-0開不了高閥，而是在這個真空度開高閥真空室的真空就抽不動。 ]?*L"()kp  
只有在9.0E-1左右開高閥才能繼續(xù)抽真空。

檢查一下前級閥，看是不是前級閥內(nèi)漏氣，還有就是DP與前級閥前有一個環(huán)，看有沒有壞啊，我也遇到過，但是就是這個問題

DP??DP與前級閥前有一個環(huán)??可以明確一點嗎?謝謝了

我聽說過一個做真空系統(tǒng)的人講過： nna boD  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏氣，如果能抽到高真空，而時間太長，則表示不漏，而是真空泵系統(tǒng)問題。
WF`  
具體檢測方法，可以分別對各種泵的極限真空進(jìn)行測試就大概知道。通常機(jī)械泵的抽速是從大氣到1000PA，前級泵是從1000PA到1PA擴(kuò)散泵是從1PA到10-2PA,就可開始烘烤鍍膜后續(xù)工序。 wd<jh,Y  
你要摸摸擴(kuò)散泵的溫度是不是過高。雖然說冷卻水溫指示正常，如果冷卻水管與擴(kuò)散泵脫開的話，擴(kuò)散泵一樣冷卻不好的。 l;vA"b=]  
如果不是擴(kuò)散泵的問題，從你說的現(xiàn)象來看。感覺機(jī)械泵與前級泵出現(xiàn)問題的可能性比較大。機(jī)械泵要抽一個小時才到你說的那個數(shù)值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜時，是用光馳設(shè)備。從抽到鍍再到下次抽，間隔時間總共也才一個小時哦。 R0bWI`$Z  
南光機(jī)真的太慢了。

感覺是你的擴(kuò)散泵的水冷系統(tǒng)出問題了

回復(fù)24樓 -14~f)%NQ*  
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現(xiàn)在的機(jī)器不加烘烤 N7}yU~j^  
20分鐘就到3*10-2了 z:p9&mi