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    [求助]請教關(guān)于脫膜 [復(fù)制鏈接]

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    離線cl610
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-11-04
    我們有個產(chǎn)品,AR400--900nm的,平均反射小于1%,我用Ta2O5+MgF2做的,基底材料LaK4,曲線還可以,就是脫膜,不知道是什么原因,請各位大俠賜教。還有沒有人用過這兩種材料的組合嗎?效果怎么樣?
     
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    離線zzh1011
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2008-11-04
    注意真空室是否有油分子,膜料預(yù)溶是否充分,最好加---IAD
    離線zyg1693
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-11-07
    你用AL2O3打底層再試試
    離線cl610
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2008-11-08
    謝謝各位回復(fù),真空室倒是沒有回油,我現(xiàn)在懷疑是不是Ta2O5和MgF2的結(jié)合不好?
    離線hhxxttxs
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2008-11-11
    基體溫度也會有影響吧,襯底洗凈了嗎?有好多好象直接卷起來,還有膜直接斷裂,這些可能跟薄膜的內(nèi)應(yīng)力有關(guān),還有熱膨脹問題?纯淳Ц駞(shù)差多少
    離線leisf
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2008-11-12
    如果不介意的話我也說兩句吧:我覺得你也說對了,中間再加些AL2O3吧!
    離線cl610
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2008-11-13
    我們設(shè)備配的是北京空間中心的離子源,目前尚未投入使用,膜料預(yù)熔三分鐘左右,充氧后真空度維持在3.4E-2Pa左右,烘烤溫度300度,(實測270度),膜層經(jīng)混合液棉花使力擦后先起路子,然后就會大面積脫膜。還有al2o3是做底層還是中間層?
    離線laonan
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2008-11-17
    加過渡層是比較理想的方法,可以試試
    離線gszljw
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2008-11-22
    脫膜是在什么環(huán)境下造成!用什么方法使他脫膜了,請說清楚后,可能會快速幫你解決
    離線lyz781128
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2008-11-24
    你鍍MGF2有用離子源嗎?