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    [求助]關(guān)于波長控制的一個話題 [復(fù)制鏈接]

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    離線oudexu
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-12-21
    請教大家一個問題，機(jī)器離子濺射，在控制波長方面，以往是調(diào)節(jié)試樣鏡片到靶的距離就行了，而且非常敏感。最近幾次調(diào)了很多距離也不見波長有變化。請問造成這種情況有哪些可能呢？ 2AXF$YjY  
    膜厚控制為光學(xué)極值法。
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2008-12-21
    第一次聽說這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長,基片位置是不動的,補充一下,我的是真空蒸鍍
    離線oudexu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-12-22
    老式設(shè)備嘛 P<>[e9|  
    我們機(jī)器鍍膜和測波長是分開的
    離線oudexu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2008-12-22
    我們機(jī)器是老式設(shè)備 - waX#U T=  
    鍍膜和波長檢測是分開的
    離線9603128
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-03-04
    我是第一次聽說這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長,基片位置是不動的,補充一下,我的是真空蒸鍍，不應(yīng)當(dāng)有這種情況的