1、真空的定義
ivi&; 真空系統指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
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2、真空度
65pC#$F<x 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
_NM=9cWd 3、真空度單位
6j~'>w(F 通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用毫巴（mbar）作為單位。
5LxzET"P 1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱
%C*h/AW)' 4、托與帕的轉換
LD}ZuCp! 1托＝133.322帕 或 1帕＝7.5×10-3托
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tf4 5、平均自由程
h&?tF~h 作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
skfFj&_T 6、流量
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2lT_7" 單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕?升/秒（Pa?L/s）或托?升/秒（Torr?L/s）。
wmgKh)`@_{ 7、流導
cBnB(t% 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U＝Q/(P2- P1)
n!\&X9%[8 8、壓力或壓強
9=;ETLL " 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
)Y,>cg:z~ 9、標準大氣壓
`]g}M , 壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。
_{'HY+M 10、極限真空
^'aMp}3iu 真空容器經充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
=nN&8 vRH 11、抽氣速率
81U(* 6 在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
}!RFX )T 12、熱偶真空計
0@8EIQxK" 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
v#`P?B\ 13、電離真空計（又收熱陰極電離計）
Mo+ H LN 由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
LP:C9 Ol\ 14、復合真空計
&+Pcu5 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。
'm+)n08[ 15、冷陰極電離計
kculHIa\. 陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
Wtwh.\Jba 16、
電阻真空計
~4+=C\r 利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
#N"K4@]{ 17、麥克勞真空計（壓縮式真空計）
"5R8Zl+ 將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
`ynD-_fTN 18、B－A規(guī)
#x|h@(y| 這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。
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X|- 19、水環(huán)真空泵
!B{N:?r 泵的葉輪轉子旋轉而產生水環(huán)。由于轉子偏心旋轉而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。
*.9.BD9 20、往復真空泵
)fz<n$3|$# 利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。
hUy\)GsT 21、油封機械真空泵
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