[討論]膜系設(shè)計(jì)相關(guān)問題 [復(fù)制鏈接]

各位同行大哥大姐，小弟這有一個(gè)膜系設(shè)計(jì)的問題想請教大家。 8m)E~6  
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我在膜系設(shè)計(jì)時(shí)開始沒有考慮到設(shè)計(jì)TOOLING。設(shè)計(jì)并優(yōu)化了膜系。光譜符合我們的要求。加上設(shè)計(jì)TOOLING后就不行了。我想請教各位:tooling 是1 的時(shí)候和不是1，比如是1.27(TI3O5)時(shí)它們之間有沒有一個(gè)換算關(guān)系. YA^g[,  
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小弟不才.H層和L 層TOOLING 不是1 的時(shí)候我很難控制它的中心波長. (fWQ?6[  
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拜托各位了.小弟再次謝過了. .w]S!=h  
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我的郵箱:fang198112042001@163.com

你用的是什么軟件？TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的嗎？一般都是正比例關(guān)系，或者直接就是乘積的關(guān)系，具體的關(guān)系，相應(yīng)的軟件說明里應(yīng)該有的

是軟件里面的設(shè)計(jì)TOOLING。比如H層（TI3O5）為1.21,L層（SIO2）為1.102.它的這個(gè)TOOLING 是我們測3。1算出來的。通常都不會(huì)是1。 x_5H_! \#  
  但我們在設(shè)計(jì)的時(shí)候算設(shè)計(jì)波長是：根據(jù)g的半寬和我們所要求的中心波長來算的。如果TOOLING不是1的話。所算出來的設(shè)計(jì)波長就不準(zhǔn)了。 !P0
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  我想知道我們可不 可以先用TOOLING是1來設(shè)計(jì)。等設(shè)計(jì)好了之后再用一個(gè)公式什么的來轉(zhuǎn)換呢。 ,*Yu~4  
  非常感謝~~~�。。� _sCpy
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                  再次謝謝~~�。。。�

可以先把tongling定為1.這個(gè)應(yīng)該是相乘的關(guān)系，一般的軟體都把tooling 的默認(rèn)值設(shè)置為1，然后自己在根據(jù)自己的設(shè)備情況進(jìn)行調(diào)整。

樓主用的是什么軟件？

謝謝各位了。。我回家里試過了。也還可以。。呵呵。。

請問TOOLING是啥意思?

其實(shí)就是一個(gè)比例系數(shù)啊。在這里就是實(shí)際厚度和理論厚度的比值。

是不是膜厚控制的tooling��？如果是，對于同一個(gè)蒸發(fā)源，一般的不同材料tooling差別不大啊。 h\b]>q@  
如果樓主成膜時(shí)H、L材料使用不同的蒸發(fā)源，建議將兩個(gè)蒸發(fā)源的tooling調(diào)成一樣。 ~&=-*  
    無論怎樣，設(shè)計(jì)是也是可以按照理想狀態(tài)設(shè)計(jì)的，只不過鍍膜程式要隨需變化。遇到摟住的情況，在下覺得問題不在設(shè)計(jì)，而應(yīng)該考慮設(shè)備方面的問題。

好呀我來了又