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    [討論]膜系設計相關(guān)問題 [復制鏈接]

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    離線lawsonfang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-07-28
    各位同行大哥大姐,小弟這有一個膜系設計的問題想請教大家。 xW9R -J \W  
    A['(@Bz#7~  
    我在膜系設計時開始沒有考慮到設計TOOLING。設計并優(yōu)化了膜系。光譜符合我們的要求。加上設計TOOLING后就不行了。我想請教各位:tooling 是1 的時候和不是1,比如是1.27(TI3O5)時它們之間有沒有一個換算關(guān)系. nSQ]qH&4d  
    L8'4d'N+ >  
    小弟不才.H層和L 層TOOLING 不是1 的時候我很難控制它的中心波長. cp~6\F;c  
    5eF tcK  
    拜托各位了.小弟再次謝過了. |?^N@  
    <jYyA]Zy5  
    我的郵箱:fang198112042001@163.com
     
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    離線birdy
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-07-28
    你用的是什么軟件?TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的嗎?一般都是正比例關(guān)系,或者直接就是乘積的關(guān)系,具體的關(guān)系,相應的軟件說明里應該有的
    離線lawsonfang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2005-07-30
    是軟件里面的設計TOOLING。比如H層(TI3O5)為1.21,L層(SIO2)為1.102.它的這個TOOLING 是我們測3。1算出來的。通常都不會是1。 egfd=z=2un  
      但我們在設計的時候算設計波長是:根據(jù)g的半寬和我們所要求的中心波長來算的。如果TOOLING不是1的話。所算出來的設計波長就不準了。 ~WV1t][  
      我想知道我們可不 可以先用TOOLING是1來設計。等設計好了之后再用一個公式什么的來轉(zhuǎn)換呢。 [-e$4^+9  
      非常感謝~~~。! "av/a   
                      再次謝謝~~!。!
    離線flyinlove79
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    可以先把tongling定為1.這個應該是相乘的關(guān)系,一般的軟體都把tooling 的默認值設置為1,然后自己在根據(jù)自己的設備情況進行調(diào)整。
    離線flyinlove79
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    樓主用的是什么軟件?
    離線lawsonfang
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    謝謝各位了。。我回家里試過了。也還可以。。呵呵。。
    離線kevin980828
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2005-08-28
    請問TOOLING是啥意思?
    離線birdy
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2005-08-29
    其實就是一個比例系數(shù)啊。在這里就是實際厚度和理論厚度的比值。
    離線dzk999
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2006-02-22
    是不是膜厚控制的tooling啊?如果是,對于同一個蒸發(fā)源,一般的不同材料tooling差別不大啊。