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    [討論]單點模厚換算 [復制鏈接]

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    離線dingjie
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-07-30
    想請教各位高手一個問題，鍍1490中心波長的單點增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底，它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結果跟實際的相差很大。有哪位高手會算請把換算公式列出來并把厚度帶進去，交流一下，好對比我錯在哪里！ ^loF#d= s  
     
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    離線dingjie
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-07-30
    上面有錯最后一層是325NM，不好意思！
    離線yzhuang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-08-01
    膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù)
    離線0558
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-10-03
    先把TOOLING值找出
    離線天命
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-12-17
    膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù) H2p