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單點模厚換算
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dingjie
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樓主
發(fā)表于: 2009-07-30
想請教各位高手一個問題,鍍1490中心
波長
的單點增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底,它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實際的相差很大。有哪位高手會算請把換算公式列出來并把厚度帶進(jìn)去,交流一下,好對比我錯在哪里!
o`G@Je_}x
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dingjie
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發(fā)表于: 2009-07-30
上面有錯最后一層是325NM,不好意思!
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yzhuang
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發(fā)表于: 2009-08-01
膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù)
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發(fā)表于: 2009-10-03
先把TOOLING值找出
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天命
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4樓
發(fā)表于: 2009-12-17
膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù)
Vv#|%^0
這個方法是正確的,也是最容易的
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拉比熊
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5樓
發(fā)表于: 2013-01-14
就是先做單層膜
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擺脫你的煩惱
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6樓
發(fā)表于: 2013-03-18
好東西。。。
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scenery
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發(fā)表于: 2013-08-03
c0h:Vqk-
得好好學(xué)學(xué)。。!
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yuliang-518
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8樓
發(fā)表于: 2013-08-19
只能模擬對
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發(fā)表于: 2013-08-21
好好學(xué)習(xí)
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