900型箱式
真空鍍膜機操作步驟：
ET=q
1t8 1.進入水泵房,開水泵和氣源,水的溫度控制在20攝氏度以下
d<7xSRC 2.進入鍍膜室,拉上電閘,打開鍍膜機總
電源,使鍍膜機啟動,此時鍍膜機顯示警報,關(guān)閉警報.然后在觸摸屏上點擊維持泵圖標,擴散泵開始預(yù)熱,等待溫度上升到270攝氏度,一般要1h左右.
7zR 7v 3.開始打掃鍍膜室衛(wèi)生,保持較高的清潔度.在吸塵工作臺上擦拭基片,采用酒精和乙醚混合液擦拭,而后在60w的檢驗等下檢測,擦拭完畢安裝到真空室的旋轉(zhuǎn)工件架上,旋轉(zhuǎn)工件架檢測是否固定.然后向7號和8號坩堝中填ZrO2膜料.關(guān)上真空室門
2$[u&__E 4.擴散泵到270攝氏度,啟動
機械泵,然后點旁通閥和低通閥開始抽低真空,使真空度達到10~3Pa時,啟動羅茨泵,真空度達到3Pa時關(guān)閉維持泵,此時抽低真空完畢
