我是用ArF準(zhǔn)分子激光做醫(yī)療設(shè)備的,激光波長193nm,激光器是德國TUI生產(chǎn)的,脈沖式發(fā)光,最大功率3000mw。準(zhǔn)分子激光激光器屬于氣體激光器,其工作原理是:將高純度的氣體與鹵素氣體在高電場產(chǎn)生的光線(脈沖形式)下混合而得到的激光。 V.[#$ip6:
這種激光器所產(chǎn)生的激光光斑一般是長方形的,能量分布在x軸上是高斯分布,在y軸上是草帽型分布,為了能使激光對物質(zhì)的切削達(dá)到最光滑一般采用以下方法:降低作用激光的能量密度;改變光斑形態(tài)為圓形。 #.t{g8W\C
現(xiàn)在有兩種方法: 13az[
1、先用小孔光闌截取方形光斑中央部分以使得到的圓形光斑能量形態(tài)最好,再用凸透鏡對光束進(jìn)行聚焦。這種方法優(yōu)點是光路簡單。缺點是;1、能量損失大2、對原始光斑質(zhì)量要求非常高,調(diào)節(jié)難度大。 =}KbE4D+8
2、先將原始光束微分后再將光束積分。這種方法的優(yōu)點是對原始光斑要求不高,缺點是光路復(fù)雜,損耗高。 &>b1ES.>
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那位高手可指點一二,多謝。