1.微
光學概述
$J4 *U ckV`OaRw4 1.1.定義與名稱
F8hw #!Aq {- ZFp 微光學是一門屬于多門前沿學科交叉領(lǐng)域的新興科學。微光學借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應用前途。微
光學元件（MOC），指面形精度可達亞微米級，表面粗糙度可達
納米級的自由光學曲面及微結(jié)構(gòu)光學元件。自由光學曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面（如拋物面、漸開面等），和沒有任何對稱軸的非回轉(zhuǎn)非球面，如Zernike 像差方程曲面。微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓撲形狀，如凹槽、微
透鏡陣列等，微金字塔結(jié)構(gòu)表面。這些結(jié)構(gòu)決定了對光線的反射，透射或衍射性能，便于
光學設計者優(yōu)化
光學系統(tǒng)，減輕重量，縮小體積。典型微光學元件如全息透鏡、衍射光學元件（DOE）和梯度折射率透鏡等，將這些微光學元件應用在各種光電子儀器中，可以使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化。
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