[分享]超精密機(jī)械加工在微光學(xué)元件制造中的應(yīng)用 [復(fù)制鏈接]

1.微光學(xué)概述 p,#o<W  
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1.1.定義與名稱 )ut&@]  
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微光學(xué)是一門屬于多門前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)。微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應(yīng)用前途。微光學(xué)元件（MOC），指面形精度可達(dá)亞微米級(jí)，表面粗糙度可達(dá)納米級(jí)的自由光學(xué)曲面及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件。自由光學(xué)曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面（如拋物面、漸開面等），和沒有任何對(duì)稱軸的非回轉(zhuǎn)非球面，如Zernike 像差方程曲面。微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓?fù)湫螤�，如凹槽、�?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=透鏡',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">透鏡陣列等，微金字塔結(jié)構(gòu)表面。這些結(jié)構(gòu)決定了對(duì)光線的反射，透射或衍射性能，便于光學(xué)設(shè)計(jì)者優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)，減輕重量，縮小體積。典型微光學(xué)元件如全息透鏡、衍射光學(xué)元件（DOE）和梯度折射率透鏡等，將這些微光學(xué)元件應(yīng)用在各種光電子儀器中，可以使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化。 50X([hIr  
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