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    [討論]納米級加工 [復(fù)制鏈接]

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    離線jrwqz
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-01-10
    在光學(xué)加工中有沒有能加工到納米級的？是如何檢測的？
     
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    離線leswen
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-01-11
    國內(nèi)加工精度要達到這么高，目前還有困難啊~；目前微米級精度比較現(xiàn)實
    離線oldchenj
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-01-29
    請問你說的納米級具體是多少個納米，我做過五十分子一波長的。
    離線jrwqz
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2011-02-09
    1nm以下的加工和測量
    離線jrwqz
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2011-02-09
    1/50波長的工件直徑有多少？ =an 0PN  
    離線haha9528
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2011-02-15
    目前雙光子加工聚合物可以達到納米級！
    離線chmkbx
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2012-01-20
    我們能加工納米級的，檢查是取鏡面上的任意三個點，同時放大一千倍，要小于1nm。2樓同仁說的50分之一波長只能代表pv值，確實相當(dāng)高了，但pv值不能代表納米級表面。
    離線lcj.214528
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2012-03-23
    我們加工的光學(xué)模組表面光潔度RMS可以達到10個納米（0.01UM)以下，面型精度PV或RT可以達到50-100個納米以下（0.05UM-0.1UM)。至于檢測，目前市面上有高精度的光學(xué)檢測輪廓儀。如泰勒霍普森的PGI系列，松下的UA3P，翟柯（ZYGO)設(shè)備都能檢測。