[討論]納米級(jí)加工 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-01-10

在光學(xué)加工中有沒(méi)有能加工到納米級(jí)的？是如何檢測(cè)的？

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離線(xiàn)leswen

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2011-01-11

國(guó)內(nèi)加工精度要達(dá)到這么高，目前還有困難啊~；目前微米級(jí)精度比較現(xiàn)實(shí)

離線(xiàn)oldchenj

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2011-01-29

請(qǐng)問(wèn)你說(shuō)的納米級(jí)具體是多少個(gè)納米，我做過(guò)五十分子一波長(zhǎng)的。

離線(xiàn)jrwqz

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2011-02-09

1nm以下的加工和測(cè)量

離線(xiàn)jrwqz

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2011-02-09

1/50波長(zhǎng)的工件直徑有多少？

離線(xiàn)haha9528

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2011-02-15

目前雙光子加工聚合物可以達(dá)到納米級(jí)！

離線(xiàn)chmkbx

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2012-01-20

我們能加工納米級(jí)的，檢查是取鏡面上的任意三個(gè)點(diǎn)，同時(shí)放大一千倍，要小于1nm。2樓同仁說(shuō)的50分之一波長(zhǎng)只能代表pv值，確實(shí)相當(dāng)高了，但pv值不能代表納米級(jí)表面。

離線(xiàn)lcj.214528

技術(shù)員

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2012-03-23

我們加工的光學(xué)模組表面光潔度RMS可以達(dá)到10個(gè)納米（0.01UM)以下，面型精度PV或RT可以達(dá)到50-100個(gè)納米以下（0.05UM-0.1UM)。至于檢測(cè)，目前市面上有高精度的光學(xué)檢測(cè)輪廓儀。如泰勒霍普森的PGI系列，松下的UA3P，翟柯（ZYGO)設(shè)備都能檢測(cè)。