[分享]光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)計(jì)劃 [復(fù)制鏈接]

光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。 !PeSnO  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 N<4 nb  
1.腔室內(nèi)部防護(hù)板 95j
`^M)Q  
周期：每月清理一次 6hR `sE  
先對(duì)防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。 <3j`Z1J  
2.離子源清洗 XefmC6X  
周期：50~100小時(shí) [+W<;iep  
A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機(jī)說明書） \Ezcr=0z{j  
B.各個(gè)零件進(jìn)行噴砂，其中： sdB(sbSF  
柵網(wǎng)、石英杯噴砂壓力應(yīng)小于0.15MPa，砂子為粒度#100的Al粒子，操作距離30cm以上 C .B=E"e  
C超聲清洗，丙酮、酒精各一次 -CF

y   
D.N2吹干，壓力在0.05-0.1MPa之間 YZ:C9:S6X  
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分鐘 :eL[nyQr  
3.真空計(jì)清理 NhTJB7  
周期：六個(gè)月清理一次 n,s7!z/  
拆除真空計(jì)各部件后用酒精擦拭即可 -~(d_  
4.冷泵再生 Z 1wtOL  
周期：一個(gè)月 OJA_OqVp$K  
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二、各計(jì)量部件校準(zhǔn) #1*7eANfr  
1、真空計(jì) ,gG RCp  
清理后第一次使用先穩(wěn)定20min，然后調(diào)整白點(diǎn)電壓至8.6 9Qu(RbDqC  
2、光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)（具體檢測(cè)方法參見光學(xué)鍍膜機(jī)說明書） \I}EWI  
A.光源性能檢查 9(!AKKrr;  
周期：50小時(shí)一次 NySa%7@CD  
合格標(biāo)準(zhǔn)： 1） 光的能量分布在全光譜的范圍內(nèi)沒有很大差別。光量的最大値/最小値≦200。 k$f2i,7'  
          2）在前置放大器的設(shè)定值為1M、HOM2-D 的敏感度設(shè)定為500ｍV、1V 條件下，高峰時(shí)光譜的輸出光量信號(hào)為0.1V 以上。   "Lk