光學(xué)樣板是人造熔融石英材質(zhì)的光學(xué)平板之一,被用作平面元件的平面度測量時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)平面。也被稱為牛頓樣板,日系企業(yè)也稱為原器。 把被測件放在光學(xué)平板上就會(huì)出現(xiàn)牛頓環(huán),根據(jù)牛頓環(huán)的數(shù)量和形狀,檢驗(yàn)和測量被測件的面精度。牛頓環(huán)是兩個(gè)表面間的間隙引起的干涉條紋。一個(gè)間隔相當(dāng)于測量波長的一半。(牛頓環(huán)法) yV_wDeAz
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每個(gè)光學(xué)樣板都被放置在一個(gè)保護(hù)木合內(nèi),并附有實(shí)測的干涉條紋照片和表面形狀數(shù)據(jù)。