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    [求助]什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢(shì) [復(fù)制鏈接]

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    離線opturn_yang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-05-14
    關(guān)鍵詞： 原理薄膜拋光
    請(qǐng)教大家雙離子束濺射薄膜沉積的原理是什么啊，聽說離子束還能拋光，請(qǐng)大家賜教。 P/eeC"  
     
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    離線wd94
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-06-05
    就是一個(gè)濺射一個(gè)輔助 代表機(jī)型有VEECO
    離線wd94
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-06-05
    優(yōu)點(diǎn)是膜層的致密性好點(diǎn)