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    [求助]什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢 [復制鏈接]

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    離線opturn_yang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-05-14
    關鍵詞： 原理薄膜拋光
    請教大家雙離子束濺射薄膜沉積的原理是什么啊，聽說離子束還能拋光，請大家賜教。 q0|u vt"  
     
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    離線wd94
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-06-05
    就是一個濺射一個輔助 代表機型有VEECO
    離線wd94
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-06-05
    優(yōu)點是膜層的致密性好點