據(jù)說，最初發(fā)現(xiàn)真空中成膜是由1850年燈泡蒸發(fā)現(xiàn)象產(chǎn)生引起。當然，那并不是以薄膜制作為目的的，而僅僅是因為真空管陰極蒸發(fā)，管壁污染生成物的發(fā)現(xiàn)。之后，在放電管研究開發(fā)方面，將如何減少蒸發(fā)現(xiàn)象作為課題來研討了。
|XQ\c.A 燈泡發(fā)明之后不久，1857年，M.法拉弟開始了真空鍍膜的嘗試。因為這是有意圖性的進行薄膜制成，故這就是所謂最早的真空鍍膜。但是，如此的方法在實際使用上非�；〞r間，那是因為當時的真空技術非常低。隨后，1930年ブし－クスル－產(chǎn)生了，以使用油作為動作液體的擴散泵的完成為開端，實現(xiàn)了真空技術的迅猛發(fā)展。其結果是：真空鍍膜一下子成了實用技術。剛開始是實現(xiàn)了將到那時為止的防反射的透過鏡的化學手法的制作向真空鍍膜制作的轉變。由此，光學薄膜得到了很大的發(fā)展。特別是在第二次世界大戰(zhàn)中，潛水艇上用的潛望鏡等復雜性光學系統(tǒng)方面，防反射膜的優(yōu)勢直接影響著戰(zhàn)爭的結果，不容有缺點。
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