.空心陰極離子鍍原理
4/e-E^ 在本底真空為高真空的條件下,由陰極中通入氬器氣(1-10-2)
DK}k||- 在陰極與輔助陽極之間加上引弧電壓,使氬氣發(fā)生輝光放電,在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電,陰極溫度升高到2300-2400K時(shí),由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電,開始熱電子發(fā)射,放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體,可以制化合膜。
n\Uh5P1W" U+3,(O 2.測控濺射工作原理
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