[分享]現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù) 蔡珣 [復(fù)制鏈接]

這個(gè)好不好啊，看看了，支持

正在學(xué)習(xí)中   

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先看看

好東西

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在本底真空為高真空的條件下，由陰極中通入氬器氣（1-10-2） e!0OW7kV  
在陰極與輔助陽極之間加上引弧電壓，使氬氣發(fā)生輝光放電，在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電，陰極溫度升高到2300-2400K時(shí)，由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電，開始熱電子發(fā)射，放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體，可以制化合膜。 G[yI*/E;  
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2.測控濺射工作原理 ($d4:Ww