等離子體是指被激發(fā)的氣體達(dá)到一定電離度（＞10-4），氣體處于導(dǎo)電狀態(tài)，這種狀態(tài)的電離氣體是由大量接近于自由運(yùn)動(dòng)的帶電離子所組成的體系，在整體上是準(zhǔn)中性的。粒子運(yùn)動(dòng)與電磁場(chǎng)（外電場(chǎng)和粒子間的自洽場(chǎng)）是不可分割的，這種互相作用的電磁力是長(zhǎng)程力，從而使等離子體顯示出集體行為的特點(diǎn)，即電離氣體中每一帶電離子的運(yùn)動(dòng)都會(huì)影響到其周圍帶電離子，同時(shí)也受到其他帶電粒子的約束。由于電離氣體整體行為表現(xiàn)為電中性，也就是電離氣體內(nèi)正負(fù)電荷數(shù)相等，這種氣體狀態(tài)為等離子體態(tài)簡(jiǎn)稱等離子體。有由于它獨(dú)特行為與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)都截然不同，故又稱之為物質(zhì)的第四態(tài)。 _zj^k$ j
離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)設(shè)備的關(guān)鍵部件。R&R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。 \8CCa(H
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