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    [求助]鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？ [復(fù)制鏈接]

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    離線e501559
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-01
    求解：鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？ 怎么理解它們之間的關(guān)系?
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-11-08
    一般是通過控制功率來控制速率，而膜厚是速率乘以時(shí)間的累積，tooling是校正厚度而設(shè)的一個(gè)材料參數(shù)。具體為toolingX顯示厚度＝實(shí)測(cè)厚度
    離線xingmeng1227
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-11-09
    shoujiaole
    離線cxb007007
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2011-11-12
    在一定條件下 功率大 速率高  相對(duì)折射率偏高  膜厚減少  
    離線xingmeng1227
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2011-11-26
    zhemejiandan?
    離線老城1234
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2012-08-15
    呵呵                這個(gè)也問啊
    離線a060103112
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-02-27
    其實(shí)吧，這些問題你自己好好想想應(yīng)該是能明白的
    離線scenery
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-08-03
    新手，好好學(xué)習(xí)中
    離線rexchou
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2016-04-21
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個(gè)A的材料) '}pgUh_  
    KD"&_PX  
    功率=電子槍功率 /.kna4k  
    H@2"ove-uC  
    膜厚:薄膜厚度(nm) Tb0;Mbr  
    KWh M  
    Tooling=誤差值=實(shí)際/理想 'W?v.W &  
    `\F%l?aY  
    %][$y 7  
                                                                                                      來自臺(tái)灣則米的SiO2王
    離線jakzhou
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2016-06-02
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個(gè)A的材料) EAD0<I<>  
    txml*/zL  
    功率=電子槍功率 Y1fy2\<'  
    JIP+ !2  
    膜厚:薄膜厚度(nm) QlRoe| {  
    %0NkIQ`C  
    Tooling=誤差值=實(shí)際/理想 XYb^C s;